E15400 - SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様 StdPbc-E03501 この仕様が適用される開発用ウェーハは，直径450 mm単結晶シリコンウェーハ上に高集積ICを生産するのに必要な製造プロセス，製造装置および評価装置の研究開発に使うことを意図している。直径450 mmデバイス用（プライム）ウェーハの形状仕様をサポートするのに必要な測定法や測定技術を築くためにも使える。

この仕様が適用される開発用ウェーハは，直径450 mm単結晶シリコンウェーハ上に高集積ICを生産するのに必要な製造プロセス，製造装置および評価装置の研究開発に使うことを意図している。直径450 mmデバイス用（プライム）ウェーハの形状仕様をサポートするのに必要な測定法や測定技術を築くためにも使える。

The purposes of this Document are (1) to set a maximum permissible particle concentration for grade 20/0

and the sawing of the bonded wafers) is beyond the scope of this Test Method

SEMI E78-1102 (technical revision)

E15400 - SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様 StdPbc-E03501 この仕様が適用される開発用ウェーハは，直径450 mm単結晶シリコンウェーハ上に高集積ICを生産するのに必要な製造プロセス，製造装置および評価装置の研究開発に使うことを意図している。直径450 mmデバイス用（プライム）ウェーハの形状仕様をサポートするのに必要な測定法や測定技術を築くためにも使える。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI 450 mm FOUP450 mm MAC (SME) 450 mm FOUP450 mm MACSEMI Referenced SEMI Standards SEMI E63 Specification for 300 mm Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS M) Interface SEMI E110 Guideline for Indicator Placement Zone and Switch